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如何理解真空機組與真空系統

點擊:2567 日期:2019-09-10 選擇字號:
  真空機組是由真空泵、各種管路、集成傳感器、真空表、測量裝置、電氣控制系統等一系列的配套真空輔助設備構成,根據主泵的類型來命名,以真空應用范圍分為低真空機組、中真空泵機組、高真空機組及超高真空機組。
真空機械手
 1)低真空機組一般采選直排大氣型的真空泵,如容積式的往復泵、水環泵、油封機械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵以及噴射泵、分子篩吸附泵等,低真空機組工作壓力高、排氣量大,多用于真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥機真空脫氣等。
 2)中真空機組由羅茨真空泵+油封機械泵、羅茨真空+水環真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。隨著螺桿無油真空泵廣泛使用,羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無油真空機組也逐漸增多,適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統中,如鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理及醫藥化工、電工焊接等行業。
 3)高真空機組工作于分子流狀態下,工作壓力區間在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,主泵由擴散泵、分子泵、鈦升華泵為主,如遇低溫冷凝泵無法直接在大氣下工作,需配置前級泵、預抽泵等,為防止氣壓波動還配置維持泵與儲氣罐等。
 4)超高真空機組壓力區間在10-6~10-10Pa,主泵的極限真空要在10-7~10-8Pa以上,壓力區間內保證相應的抽速,對系統組成的材料要求能經受200~450℃高溫烘烤并保證低漏氣率與出氣率。
真空負壓站
 真空機組系統是對真空機組中關鍵參數如"真空度(負壓或增壓)"、"流量"等數據進行實時監測、自動調整,如完成"真空保壓"、"自動定時停機、啟動"、定時定量"真空抽濾"等的功能性控制系統稱為真空系統。
 真空機組與系統作為實現智能自動化的一種手段,己在電子、半導體元件組裝、汽車組裝、自動搬運機械、輕工機械、醫療機械、印刷機械、塑料制品機械、包裝機械、鍛壓機械、機器人等許多方面得到廣泛的應用。
無油真空泵
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