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干式真空泵應(yīng)用那些行業(yè)

點(diǎn)擊:2424 日期:2018-12-18 選擇字號(hào):
干式真空泵種類很多,按工作原理可分為兩類:容積式干式真空泵和動(dòng)量傳遞式干式真空泵。不管哪類的干式真空泵,對(duì)其要求又有哪些呢?
一般對(duì)干式真空泵的要求為:清潔;安全;耐磨;造價(jià)低;維修方便;性能穩(wěn)定;振動(dòng)小,噪音低。只有這樣,干式真空泵才有使用和推廣的價(jià)值。在清潔的要求方面,對(duì)于哪些用油潤滑的干式真空泵都有一個(gè)潛在的油蒸氣的污染源存在,要采取一定措施加以解決。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主要應(yīng)用對(duì)象的干式真空泵,會(huì)在許多抽氣工藝過程中出現(xiàn)一些顆粒物,一般說來,在干式真空泵中出現(xiàn)顆粒物有三種情況:

1、當(dāng)泵內(nèi)壓力增高時(shí)引起氣固變相過程的發(fā)生;

2、在泵內(nèi)產(chǎn)生反應(yīng)氣體的生成物;

3、抽氣過程混入的顆粒物。

干式真空泵

干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型
式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;
4)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染;
5)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食 品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵。
以上資料由馬力機(jī)電廠家提供分享,馬力機(jī)電公司專業(yè)生產(chǎn):無油真空泵、旋片無油真空泵泵、活塞真空泵、小型真空泵、微型真空泵、螺桿真空泵,等產(chǎn)品需要了解更多產(chǎn)品可查看官網(wǎng)

此文關(guān)鍵詞: 干式真空泵丨無油真空泵丨活塞真空泵
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